晶圆光罩盒

晶圆光罩盒(通常简称‌光罩盒‌或‌Mask Box/Case‌)是半导体制造中专门用于‌存储、防护和转运光罩(掩模版)‌的精密洁净容器,‌并非用于存放晶圆‌;其核心作用是隔绝微粒、静电、化学分子及物理碰撞,确保光刻模板图案精度不受损 。‌‌
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  • 符合 SEMI 标准

  • 支持 N2-purge and Non-purge

  • 优秀的气密性能

  • 多项专利设计

  • 大量应用案例


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