Metal Cassette

高温退火工艺需要用到能搞抗住高温的metal Cassette,符合SEMI标准,各类材质 Cassette,PEEK&PBT&PFA&Metal,涵盖4"/6”/8”/12”线各场景应用,大量实际应用案例,可满足客户定制化需求!
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Ø金属材质,坚固耐用; 

Ø10/25slot,适用于12Inchwafer; 

Ø适用于高温制程,可承受400°C高温;

Ø适用12INCHwafer(300mm) 

Ø轻量化设计,便于使用; 

Ø精度高,表面光滑无毛刺; 

Ø可以根据客户特殊需求定制化;

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