12寸全晶圆在线FIB-SEM分析及TEM样品制备系统

iView Series是一种 300 mm 全晶圆聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM),设计用于解决半导体工业中的 TEM 样品制备难题。iView Series能够为当今极为先进的工艺节点制备样品。iView Series采用先进的机器学习和闭环端点定位,提供更高的切割放置精度,并使您能够从极具挑战性的样品中始终如一地实现高质量TEM样品制备。
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