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超声显微镜 (SAM/SAT)

超声扫描显微镜（Scanning Acoustic Microscope, SAM/SAT）利用高频超声波（5~400MHz）穿透材料内部，通过分析不同材料界面的声阻抗差异产生的反射回波信号，实现非破坏性内部缺陷检测。可精准检测晶圆键合界面的空洞、分层、裂纹、异物等缺陷，是先进封装（2.5D/3D、HBM、Chiplet）质量控制的关键手段。
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