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扫描电子显微镜 (SEM/FIB)

双束聚焦离子束-扫描电子显微镜（FIB-SEM）将离子束的精确切割加工能力与电子束的高分辨率成像能力结合，是半导体物理失效分析、TEM样品制备、3D结构表征和微加工的核心设备。可进行横截面切片成像、纳米级精度的TEM薄片制备、以及大体积3D断层重建。
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