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快速退火炉的类型和特点
- 分类： 学术知识
- 作者：超级管理员
- 来源：本站
- 发布时间：2022-09-30
- 访问量： 500
【概要描述】 快速退火炉是用于制造半导体器件的工艺，包括加热多个半导体晶···
快速退火炉的类型和特点
【概要描述】 快速退火炉是用于制造半导体器件的工艺，包括加热多个半导体晶···
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快速退火炉是用于制造半导体器件的工艺，包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面，密集沉积薄膜，改变生长薄膜的状态，修复注入的损伤，将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜，或者从薄膜进入晶片衬底。
那么快速退火炉有哪些类型呢？
一、铝合金快速退火炉。
主要用于铝合金、铝板的热处理和均热退火。
铝合金快速退火炉由台车炉体、循环系统、导流设备、加热元件、装料台车、炉门升降机构和电气控制系统组成。
二、井式真空快速退火炉。
适用于圆线材和钢带退火。真空加热退火，不渗氮不脱碳，使工件退火后保持光亮。真空快速退火炉主要由炉体、炉衬、真空泵、循环风机和电气控制系统组成。
三、多管不锈钢丝光亮快速退火炉。
它由加热炉、冷却器、放卷机构和电控系统组成。
主要适用于不锈钢丝、铜线、铁丝等的光亮退火。
四、井式快速退火炉。
适用于圆线材和不锈钢线材，拉伸前退火，氧化少，无脱碳，使工件退火后保持整齐。特点：可配置多台炉，多工位操作可节省人力资源，提高生产效率，节约能源，降低生产成本。
五、台车式快速退火炉主要用于铜排、铸钢件、汽车零部件、轧辊、钢球、金属结构件及焊件的正火及退火热处理。台车式快速退火炉主要由炉门升降和密封设备、炉车、炉车传动机构、电加热设备和温度控制系统组成。可在水平地面上使用，无需基础安装。
六、罩式快速退火炉。
该设备可广泛用于有色金属铜、铝合金、黑色金属、普碳钢、硅钢、合金钢及其他卷、卷、线等的退火。没有氮化和脱碳，使工件退火后能保持整齐。该快速退火炉具有生产效率高、产品质量好、能耗低、无污染、自动化操作、安全可靠等优点。罩式炉由加热罩、两个炉座、阀门框架和电气控制系统组成。
七、网带式不锈钢快速退火炉。
它由进料台、加热区、冷却段、氨分解炉、电气控制系统等部分组成。主要适用于各种不锈钢、铜、铁制品在保护气氛控制下的连续光亮退火和固溶处理。
八、嘉仪通科技快速退火炉
嘉仪通科技快速退火炉RTP-3-04系列采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸样品）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。
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