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快速退火炉的类型和特点

  • 分类: 学术知识
  • 作者:超级管理员
  • 来源:本站
  • 发布时间:2022-12-14
  • 访问量: 20

【概要描述】      快速退火炉是用于制造半导体器件的工艺,包括加热多个半导体晶···

快速退火炉的类型和特点

【概要描述】      快速退火炉是用于制造半导体器件的工艺,包括加热多个半导体晶···

  • 分类: 学术知识
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      快速退火炉是用于制造半导体器件的工艺,包括加热多个半导体晶片以影响它们的电性能。热处理是为不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或晶片衬底界面,密集沉积薄膜,改变生长薄膜的状态,修复注入的损伤,将掺杂剂从一个薄膜移动或转移到另一个薄膜,或者从薄膜进入晶片衬底。

  那么快速退火炉有哪些类型呢?

  一、铝合金快速退火炉

  主要用于铝合金、铝板的热处理和均热退火。

  铝合金快速退火炉由台车炉体、循环系统、导流设备、加热元件、装料台车、炉门升降机构和电气控制系统组成。

  二、井式真空快速退火炉

  适用于圆线材和钢带退火。真空加热退火,不渗氮不脱碳,使工件退火后保持光亮。真空快速退火炉主要由炉体、炉衬、真空泵、循环风机和电气控制系统组成。

  三、多管不锈钢丝光亮快速退火炉

  它由加热炉、冷却器、放卷机构和电控系统组成。

  主要适用于不锈钢丝、铜线、铁丝等的光亮退火。

  四井式快速退火炉

  适用于圆线材和不锈钢线材,拉伸前退火,氧化少,无脱碳,使工件退火后保持整齐。特点:可配置多台炉,多工位操作可节省人力资源,提高生产效率,节约能源,降低生产成本。

  五、台车式快速退火炉主要用于铜排、铸钢件、汽车零部件、轧辊、钢球、金属结构件及焊件的正火及退火热处理。台车式快速退火炉主要由炉门升降和密封设备、炉车、炉车传动机构、电加热设备和温度控制系统组成。可在水平地面上使用,无需基础安装。

  六、罩式快速退火炉

  该设备可广泛用于有色金属铜、铝合金、黑色金属、普碳钢、硅钢、合金钢及其他卷、卷、线等的退火。没有氮化和脱碳,使工件退火后能保持整齐。该快速退火炉具有生产效率高、产品质量好、能耗低、无污染、自动化操作、安全可靠等优点。罩式炉由加热罩、两个炉座、阀门框架和电气控制系统组成。

  、网带式不锈钢快速退火炉

  它由进料台、加热区、冷却段、氨分解炉、电气控制系统等部分组成。主要适用于各种不锈钢、铜、铁制品在保护气氛控制下的连续光亮退火和固溶处理。

       八、嘉仪通科技快速退火炉

       嘉仪通科技快速退火炉RTP-3-04系列采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸样品)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到极佳的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。

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