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FOUP全自动清洗机

FOUP全自动清洗机用高压去离子热水和专用喷嘴设计，确保FOUP/FOSB无死角清洗；然后旋转+热气扫+红外加热，最大程度控制FOUP/FOSB内部颗粒；最后用真空泵抽去本身热气体，满足并提升产品的良率。
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所属分类
半导体关键零部件
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核心功能： 

- 支持Particle清洗+真空脱VOC功能； 

-可选配离子水加热器、XCDA（N2） purge等功能 

- 支持选配FOUP尺寸量测机台 


基本参数： 

- 清洗WPH 套FOUP/FOSB（基于Recipe配置差异），3套清洗腔+3真空腔，通用recipe时间 6.5min，robot搬运时间2min。 

- 主体外型尺寸：占地面积10m2 ，宽3318mm*深3121mm*高3280mm - Move in最大模块尺寸：宽3318mm*深1288mm*高3000mm

Keyword:
FOUP全自动清洗机
FOUP清洗机
全自动清洗机
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