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双级旋片真空泵

该系列真空泵为双级直流旋片式真空泵，产品以高可靠性、低噪音和高极限真空度为设计定位，通过采用先进的整体式泵体结构设计，强制油泵润滑油压控制系统，同时具有不同掺气量的气镇阀设计，使得产品在不同使用环境中始终保持高可靠性。
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半导体关键零部件
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产品参数：

型号

D4

D8

I2(小型)

I8(小型)

抽速 m3/h(L/s)

50Hz

4(1.1)

8(2.2)

2.0(0.6)

8.0(2.2)

60Hz

4.8(1.3)

9.6(2.6)

2.4(0.7)

9.6(2.7)

极限分压力-关闭气镇(Pa)

5x10-2

5x10-2

1X10-1

1X10-1

极限全压力-关闭气镇(Pa)

5x10-1

5x10-1

3

3

极限全压力-开启气镇 (Pa)

10

10

/

20

电源

单/三 相

单/三 相

单相

单相

电机功率 (kW)

0.4/0.37

0.4/0.37

0.25

0.55

进排气连接口DN(mm)

KF16/25

KF16/25

KF16或宝塔形接口

KF25

用油量 (L)

0.6~1

0.6~1

0.2

0.5

电机转速 (rpm)

50Hz

1440

1440

1440

1440

60Hz

1720

1720

1720

1720

工作环境温度

10~40℃

10~40℃

10~40℃

10~40℃

噪音 (dB) 50Hz

≤52

≤52

≤62

≤65

重量 (kg)

19

21

9

17

尺寸（L*W*H）

440*144*217

440*144*217

318*124*234

395*145*257

 

 产品特点：

优秀的性能：整体式缸体结构，具有更高的精度，经验证的旋片技术，使性能更加稳定，确保系统具有更高的可靠性；

良好的散热：风冷结构，无需外接水冷箱，减少系统安装和维护成本；

强制润滑：内置齿轮泵及恒压供油机构强制供油，高吸气压强下也能稳定可靠运行

多档气镇设计：满足不同客户的真空度要求和水蒸气的处理能力；

氟橡胶密封件：提高抗腐蚀性，解决漏油问题；

双重防返油结构：自动防返油阀，更可靠地保护您的真空系统在停机后免受油的污染；

高品质油雾过滤器(可选配)：有效过滤油雾，保护环境清洁；

 

产品应用：

电子、半导体行业:真空烘箱;手套箱;蓝宝石炉、多晶炉、单晶炉，真空退火、淬火炉，真空烧结炉、热处理炉等等;蒸发镀、离子镀、溅射设备;液晶注入;等离子清洗;作为罗茨泵、扩散泵、分子泵、低温泵等的前级泵；

各种分析仪器:光谱仪、色谱仪、理化分析仪器、电子显微镜、检漏仪等(如要求噪音低及环境洁净建议加装油雾过滤器)；

医疗行业:等离子灭菌器、真空冷冻干燥、真空搅拌等。针对等离子灭菌器排气中有大量的H202气体及水蒸气的特点，专门开发了耐弱腐蚀性气体专用真空泵；


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直流旋片真空泵
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