Sorter系列
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主要在高洁净的环境下，通过精密机械手将单片晶圆传输至工艺、检测模块，实现晶圆的下线、制程前分批、 制程后合并、制程间倒片的卡控和产品出厂校验、排序 u装备整机系统包括前端传输模块、校准模块、传输模块、其他模块等
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