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裸光罩存储机 Bare Mask Stocker

Bare Mask Stocker（裸光罩存储机）是半导体制造中用于‌无盒存放、自动存取光罩‌（Reticle/Mask）的洁净仓储设备，核心功能是在‌ISO Class 1 级超净环境‌下对裸露光罩进行防污染、防静电、低粒子存储与管理 。‌‌
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半导体先进制程
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总存储容量----2100裸MASK@2200*2000*3400(W*D*H)；ID获取方式----RSPID:RFID&Barcode；OCR:MaskID

存储方式--人工/OHT放入闲置窗口，自动开盒；

拿取方式---MES命令或本地终端操作；

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