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X射线荧光光谱仪(XRF)

X射线荧光光谱仪（XRF）利用X射线激发样品表面元素产生特征荧光，通过检测荧光能量和强度实现超薄镀层厚度测量与元素成分分析。在半导体领域，XRF可测量厚度小于20nm的超薄涂层（如ENIG、ENEPIG、Al、Ti、Cu、Pd等），适用于硅晶圆、玻璃、塑料和铜等多种基材，是镀层工艺监控和质量管控的关键设备。
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