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原子力显微镜(AFM)

原子力显微镜（Atomic‑Force‑Microscope，简称 AFM）属于扫描探针纳米表征设备；区别于电镜，不受样品导电属性约束，空气、液体、低温真空环境均可检测，最高可达原子级分辨率，用来探测材料纳米尺度表面形貌、粗糙度、力学、电学、热学参数，是半导体薄膜、宽禁带材料、超表面、高分子科研必备仪器
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