新闻详情
河南仕佳光子顺利验收快速退火炉与TC-Wafer校准仪，半导体工艺装备再升级
- 分类： 企业
- 作者：管理员
- 来源：本站
- 发布时间：2026-09-17
- 访问量： 1
【概要描述】河南仕佳光子科技股份有限公司近日顺利完成快速退火炉与TC-Wafer校准仪的验收工作，标志着公司在半···
河南仕佳光子顺利验收快速退火炉与TC-Wafer校准仪，半导体工艺装备再升级
【概要描述】河南仕佳光子科技股份有限公司近日顺利完成快速退火炉与TC-Wafer校准仪的验收工作，标志着公司在半···
- 分类： 企业
- 作者：管理员
- 来源：本站
- 发布时间：2026-09-17
- 访问量： 1
详情
河南仕佳光子科技股份有限公司近日顺利完成快速退火炉与TC-Wafer校准仪的验收工作，标志着公司在半导体工艺设备与温度监控能力方面迈上新台阶。
此次验收的快速退火炉RTP-3S06产品，采用红外辐射加热及冷壁技术，可实现实验样品的快速升温和降温，完成特定条件下的热处理工艺。该设备广泛应用于半导体集成IC电路分立器件、MEMS、太阳能电池、半导体照明LED及磁性材料等领域，工艺涵盖化合物半导体晶体生长、外延、薄膜淀积、氧化扩散及快速退火等环节，为公司相关研发与生产提供了有力支撑。
同时，TC-Wafer校准仪采用便携式平板电脑、数据采集单元与晶圆传感器相结合的方式，能够在工艺循环的每个关键步骤中直接对晶圆温度进行实时测量，并在升温、保温和冷却期间提供晶圆温度图表，为工艺管理提供了快速、直观的手段。工艺工程师可利用这些温度数据表征和微调工艺条件，从而推动工艺设备性能改进以及晶圆质量和良率提升。
该套设备适用于半导体制造厂Fab、硅片厂、晶圆制造厂及半导体设备制造商等场景，可服务于RTP、Furnace、Hot Plate等高温工艺设备腔体温度的监控。此次验收进一步增强了仕佳光子在半导体工艺领域的装备实力，为后续技术研发和产品品质提升奠定了坚实基础。
关键词：
扫二维码用手机看
下一个
:
没有了！
下一个
:
没有了！
在线留言
WRITE A MESSAGE TO US
客户留言
描述：
热门资讯
-
- 快速退火炉RTP在二代半导体激光器制造中的核心价值分析 2026-09-16 15:48:25
- 喜报！热烈祝贺我司首席战略科学家王肇中教授当选欧洲科学、艺术与文学院院士！ 2026-09-07 15:49:00
- 铸就大国科研利器，服务“两弹一星”单位、核能与量子前沿实验室的硬核伙伴 2026-09-02 15:31:49
- 深化技术合作，共谋产业发展—北京华丞电子与嘉仪通科技开展合作交流 2026-08-18 15:05:38
- 硬核认证！10+院士团队选择，嘉仪通科技设备助力科研攻关 2026-08-04 15:43:51
- Nature Communications发布：快速退火炉助力实现原子限域插层，构筑高阈值氮化镓器件 2026-07-27 14:42:13
我们的产品
公司多年来秉持互惠共赢的原则与全国各地客户开展贸易合作往来
