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06-01 2022

良心国货!嘉仪通科技快速退火炉简介及其应用

一、原理参数均采用红外加热方式对炉腔辐射加热,PID模糊控制实现温度升降及保持。能完成特定条件下的热处理工艺来改变消除材料或晶圆内部缺陷,从而改善其性能。 适用场景:注入离子后的扩散退火、电极合金化、快速热退火、热氧化和热氮化、薄···
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