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09-14 2024

划重点!常见半导体退火工艺介绍对比

退火工艺是半导体制造过程中的重要环节,旨在通过加热和冷却过程改善材料的电学性能、晶体结构和可靠性。以下是一些主要的半导体退火工艺类型:各退火工艺简介管式炉退火:将材料放在一个封闭的长管形炉膛内。这个炉膛通常由耐高温的材料如石英制成。管炉的周···
08-30 2024

详细!RTP快速退火炉应用功能一览

快速退火炉 ( RTP,Rapid Thermal Processing)采用红外辐射加热及冷壁技术,可实现对1-12寸材料的快速升降温,同时搭配高精度的温度控制系统,可达到高温场均匀性。嘉仪通RTP快速退火炉应用功能:  晶化退···
07-27 2024

半导体材料为什么要测变温电阻率?

电阻率是用来表示各种物质电阻特性的物理量,温度一定的情况下,电阻率的计算公式为:ρ=RS/L(ρ就是电阻率;L为材料的长度;S为面积)。 变温电阻测试仪 测变温电阻率是一项重要的实验手段,它对于深入理解材料的电学性质、掺···
07-19 2024

RTP快速退火炉在半导体合金化退火中的好处

快速退火炉作为一种快速热处理设备,在半导体工艺中扮演着至关重要的角色,特别是在合金化退火过程中,可让电极与半导体间有良好的欧姆接触,有利于克服金属与半导体界面的肖特基势垒,减小欧姆接触电阻,确保I-V曲线呈线性。 一、合金化退火的···
06-26 2024

半导体材料电学性能研究主要测试哪些参数,有什么用?

半导体材料是现代工业中不可或缺的核心元素,它们具备独特的物理特性,能够在一定条件下调控电子的流动,从而展现出介于导体和绝缘体之间的导电性能。半导体材料的主要测试参数有霍尔系数、载流子浓度、载流子迁移率和电阻率等。霍尔系数是半导体材料在磁场中···
06-19 2024

一键测量材料多种电学参数-嘉仪通霍尔效应测试仪

霍尔效应测试仪是一种广泛应用于金属、半导体、电子、无机、复合等材料科学领域的实验设备,可以帮助研究人员和工程师们更好地理解材料的电学性质。霍尔效应的本质是固体材料中的载流子在外加磁场中运动时,因为受到洛仑兹力的作用而使轨迹发生偏移,并在材料···
05-30 2024

RTP快速退火炉在促进InGaAsP LED表面钝化中的应用

III-V族InP/InGaAsP/InGaAs材料家族对于光电子器件非常重要,特别是在1.55和1.3μm波段的光学发射和吸收,这对于光学互连非常重要[1]。然而,InGaAsP/InGaAs通常相对于Si[2]和InP[3]具有较高的表···
05-23 2024

快速热处理RTP在β-Ga2O3 MESFET器件中的应用

β型氧化镓(β-Ga₂O₃),是一种宽带隙半导体材料,其最显著的特征是具有超宽的禁带宽度(约4.4~4.9 eV),还具有较高的击穿电场强度、较低的介电常数以及出色的热导率[1],这些特性使得它在制造高性能电子器件[2]方面具有得天独厚的优···
05-17 2024

快速热处理RTP的合金化在3C-SiC-PiN中的应用

碳化硅(SiC)是一种优异的第三代半导体材料。其中,3C-SiC(立方相碳化硅)相对于其他SiC晶型(如4H-SiC和6H-SiC)具有一些优点[1],如与硅技术集成性好、较低的晶格失配、较高的载流子迁移率、成本相对较低,在以下领域有独特的···
05-09 2024

变温台在拉伸实验中的应用

拉伸测试,作为材料力学的重要评估手段,旨在揭示材料在拉伸应力作用下的行为特性。测试过程中,一端固定材料,另一端施加拉力并逐渐增加,同时记录材料的应力与应变变化。通过应力-应变曲线的分析,可获取材料的关键性能参数。这些参数包括但不限于:抗拉强···

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