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1吋快速退火炉 (RTP-3-01系列)

快速退火炉RTP-3-01系列采用红外辐射加热技术，可实现1吋(选配2吋)样品快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到极佳的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氮化(RTN)、快速热氧化(RTO)及金属合金化等研究和生产起到重要作用。
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产品编号
所属分类
桌面式快速退火炉
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 产品技术参数

型号 RTP-3-01系列
最高温度 1200℃
最大升温速率 50℃/s
温度均匀性 ≦1%设定温度
温度控制 选用工业级温控器，控温精度±0.1℃
温度传感器 标准K型热电偶
最大降温速率

1200℃→400℃，200℃/min

400℃→100℃，20℃/min

（自然冷却）
最大样品尺寸 W20 x L20 x T2 (mm)
主机尺寸 W420X L320X H220 (mm)
主机重量 20.5kg
未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加
产品特点
● 快速加热和降温: 最高可控升温速率可达50 ℃/s，特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率，特定条件下可达30 ℃/s。
● 精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温，目标温度与设定温度曲线一致性高，可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。
● 适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理（氮气、氩气等）。同时，通过选配真空泵，可以在真空条件下进行退火，最高真空度可达10-3Pa。
● 配备观察窗口: 通过观察窗口，可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时，可以结合相关测试方法进行原位测试分析。
● 超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统，全方位保障仪器使用安全。
● 国产退火炉：拥有自主研发技术和制造能力，能快速反应客户售后需求
 

嘉仪通踏实做好每一款产品的创新研发，产品相关技术参数可能因产品换代更新而发生变化。如遇上述情况，将不另行通知。

本网站产品资料仅供参考，不作交货时具有约束性的条件。

产品应用
  • 快速热处理（Rapid Thermal Processing, RTP）；
  • 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing, RTA)；
  • 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation, RTO)；​​
  • 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation, RTN)；
  • 硅化 (Silicidation)；
  • 扩散 (Diffusion)；
  • 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing)；
  • 离子注入后退火 (Implant Annealing)；
  • 合金炉/电极合金化 (Contact Alloying)；
  • 晶体化和致密化 (Crystallization and Densification)；
  • 合金熔点分析；
  • 薄膜沉积；
  • 太阳能电池片键合；
  • ……
客户案例
● 华南理工大学
● 中国科学研究院上海微系统研究所
● 中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家研究中心
●清华大学
●……
Keyword:
快速退火炉
退火炉
合金炉
RTP
RTA
RTO
嘉仪通
国产退火炉
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