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1吋快速退火炉 (RTP-3-01系列)

快速退火炉RTP-3-01系列采用红外辐射加热技术,可实现1吋(选配2吋)样品快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到极佳的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氮化(RTN)、快速热氧化(RTO)及金属合金化等研究和生产起到重要作用。
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产品特点
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 产品技术参数

型号 RTP-3-01系列
最高温度 1200℃
最大升温速率 50℃/s
温度均匀性 ≦1%设定温度
温度控制 选用工业级温控器,控温精度±0.1℃
温度传感器 标准K型热电偶
最大降温速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷却)

最大样品尺寸 W20 x L20 x T2 (mm)
主机尺寸 W420X L320X H220 (mm)
主机重量 20.5kg
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
产品特点
● 快速加热和降温: 最高可控升温速率可达50 ℃/s,特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率,特定条件下可达30 ℃/s。
● 精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温,目标温度与设定温度曲线一致性高,可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。
● 适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理(氮气、氩气等)。同时,通过选配真空泵,可以在真空条件下进行退火,最高真空度可达10-3Pa。
● 配备观察窗口: 通过观察窗口,可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时,可以结合相关测试方法进行原位测试分析。
● 超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统,全方位保障仪器使用安全。
国产退火炉:拥有自主研发技术和制造能力,能快速反应客户售后需求
 

嘉仪通踏实做好每一款产品的创新研发,产品相关技术参数可能因产品换代更新而发生变化。如遇上述情况,将不另行通知。

本网站产品资料仅供参考,不作交货时具有约束性的条件。

产品应用
  • 快速热处理(Rapid Thermal Processing, RTP);
  • 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing, RTA);
  • 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation, RTO);​​
  • 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation, RTN);
  • 硅化 (Silicidation);
  • 扩散 (Diffusion);
  • 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);
  • 离子注入后退火 (Implant Annealing);
  • 合金炉/电极合金化 (Contact Alloying);
  • 晶体化和致密化 (Crystallization and Densification);
  • 合金熔点分析;
  • 薄膜沉积;
  • 太阳能电池片键合;
  • ……
客户案例
● 华南理工大学
● 中国科学研究院上海微系统研究所
● 中国科学技术大学合肥微尺度物质科学国家研究中心
●清华大学
●……
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