薄膜变温电阻测试仪（TRT-3）

薄膜变温电阻测试仪采用双电法测量高温、真空、气氛条件下的电阻和电阻率，可以用来分析样品的电阻率随温度变化曲线、电阻温阻系数、样品相变温度点。其广泛用于光电、铁电、热电等各种导电材料的电阻率测量。

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薄膜变温电阻测试仪技术参数

型号	TRT-1000
温度范围	RT~1000℃（自动控温，可连续采集）
电阻测量范围	1μΩ-100MΩ,准确度:±0.1%FS
温度测量精度	±0.5℃
恒流源	0.05μA~1A，准确度：±1%FS（FS为满量程值）
电压	1μV~300V，准确度：±1%FS（FS为满量程值）
真空度	≤50Pa
样品尺寸	长 x 宽:(2~5)x(2~5)，单位mm,厚度:10nm-3mm
测试软件	界面友好，操作方便；可实时显示采集数据、测试状态已经测试结果