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良心国货!嘉仪通科技快速退火炉简介及其应用

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良心国货!嘉仪通科技快速退火炉简介及其应用

  • 分类:学术知识
  • 作者:大S
  • 来源:
  • 发布时间:2022-04-17
  • 访问量:905

【概要描述】武汉嘉仪通科技自主研发和制造的快速退火炉系列产品简介及其应用

良心国货!嘉仪通科技快速退火炉简介及其应用

【概要描述】武汉嘉仪通科技自主研发和制造的快速退火炉系列产品简介及其应用

  • 分类:学术知识
  • 作者:大S
  • 来源:
  • 发布时间:2022-04-17
  • 访问量:905
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一、原理参数

均采用红外加热方式对炉腔辐射加热,PID模糊控制实现温度升降及保持。能完成特定条件下的热处理工艺来改变消除材料或晶圆内部缺陷从而改善性能。

 

适用场景:注入离子后的扩散退火、电极合金化、快速热退火、热氧化和热氮化、薄膜CVD生长、晶向化和坚化、石墨烯等气相沉积、ITO膜致密化、器件退火等

 

快速退火炉系列技术参数一览表

 

二、部分客户案例及使用场景

合作使用单位:

·清华大学             ·浙江大学         ·中国科学院深圳先进技术研究院

 

·华中科技大学   ·华南理工大学     ·北京大学深圳研究生院

……

 

三、部分相关文献

四、关于公司

武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年是以薄膜物性测量仪器作为战略定位,技术自主创新的国家高新技术企业。公司集快速退火炉,霍尔效应测试,RTP,RTA,RTO,热电参数测试,Seebeck系数测试,电导率测试,热导率测试,相变温度分析,液氮低温恒温器等物性检测仪器和半导体工艺设备的研发、市场和技术服务于一体,且相继被评为湖北省“百人计划”及武汉市政府“城市合伙人”企业。

  公司始终坚持自主研发与应用创新,拥有自己的技术工程师研发团队,建有省级工程实验室、新型研发机构以及市级企业技术中心平台,拥有知识产权100多项,主持承担参与了10余项国家科技攻关项目。2020 年,公司研发的“薄膜材料热特性测试技术及仪器”技术与产品荣获了“湖北省技术发明一等奖”。核心序列产品广泛应用于大专院校、科研院所、第三方检测机构和工业企业等细分领域,并服务于国内外近500家客户。其中包括华为海思半导体公司、长江存储公司、三安光电、天马微电子、武汉光迅等半导体工业企业;清华大学、国防科技大学、北京航空航天大学、武汉大学等大专院校;绵阳九院、中科院化 学所、中科院电工所、中科院物理所等科研院所;中国计量科学研究院、国家石墨烯质检中心等第三方检测机构。除此之外,核心产品还远销美国、英国、日本、澳大利亚、以色列、香港、澳门、台湾等20多个国家和地区,实实在在为新材料的科研和生产创造了价值。未来,公司依托省级科研共享平台的大数据分析,为全球用户的薄膜技术研究及战略方向提供理论依据与数据支撑。

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