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键合炉又称无氧退火炉、真空气氛烧结炉等是物体在通向一定气体的炉子内烧结的方法。选择不同材料适合的气氛烧结,可以帮助烧结过程,提高产品的致密程度,选择能获得良好的性能的产品。键合炉一般使用真空、氢气、氧气、氮气、惰性气体(如氩)等多种气氛。比如透明氧化铝陶瓷要用氢气氛烧结,透明铁电陶瓷要用氧气氛烧结,氮化物陶瓷要用氮化铝等烧结。有时为了保护烧结组,也要在保护气氛中操作。例如,氘炉要通氢,氘炉要在真空中工作。
键合炉的结构是怎样的?
真空炉一般由主机、炉子、电热装置、密闭炉壳、真空系统、供电系统、温度控制系统、炉外运输车等组成。密封炉外壳用碳钢或不锈钢焊接,可拆卸部件的连接面用真空密封材料密封。为了防止炉壳加热后变形和密封材料受热变质,炉壳一般用水冷或空冷降低温度。炉子是密封的,位于外壳内。根据炉子的用途,炉子内部装有电阻、感应线圈、电极、电子枪等多种类型的加热部件。精炼金属的真空炉里装有钨,有的装有自动浇注装置和装卸材料的机械手等。真空系统主要由真空泵、真空阀、真空计等组成。
键合炉的工作原理是怎样?
键合炉又称无氧退火炉、真空气氛烧结炉等物体在通向一定气体的炉子内真空烧结的方法。
选择不同材料适合的气氛烧结,可以帮助烧结过程,提高产品的致密程度,选择能获得好的性能的产品。真空气氛一般使用真空、氢气、氧气、氮气、惰性气体(如氩)等多种气氛。比如透明氧化铝陶瓷要用氢气氛烧结,透明铁电陶瓷要用氧气氛烧结,氮化物陶瓷要用氮化铝等烧结。有时为了保护烧结组,也要在保护气氛中操作。例如,氘炉要通氢,氘炉要在真空中工作。
键合炉是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术。有真空热处理的真空环境是指比大气压力低的大气环境,包括低真空、中真空、高真空和较高真空。真空热处理实际上属于大气控制热处理。真空热处理是全部和部分热处理过程在真空状态下进行的,真空热处理几乎可以实现所有一般热处理相关的热处理过程,但热处理质量大大提高。与传统热处理相比,真空热处理可以起到不氧化、不脱碳、不渗碳、去除工件表面磷屑、脱脂脱气等作用,达到表面光亮的净化效果。
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